关于我们/ABOUT US
产品展示/PRODUCTS
SEpA I
CD-SEM/EDS
适用于硅片量产的检测需求
SEpA I 应用电子束扫描技术对硅片进行检测,实现高分辨率成像,高精度测量,为开发与量产流程中产能提高及制程控制提供解决方案。
东方晶源微电子科技有限公司是由中国东方集团(00581.HK)投资控股,并由国际化团队创立的先进半导体装备和软件公司。我们公司的产品涵盖极大规模半导体制造的主要领域,服务对象是世界一流半导体制造和装备企业。我们的核心团队由大数据优化、芯片设计制造以及装备制造领域经验丰富的专家组成。